品牌:日本ENGIS株式会社

　　设备名称:手动贴蜡机，研磨机（含开槽机），抛光机

　　技术参数:

　　3.1设备总体描述:该生产线主要用于2-4inchInP晶圆的背面减薄。

　　手动上蜡机:将InP晶圆正面粘贴在高平坦度陶瓷盘上，用于后段单面研磨及抛光。

　　研磨机:用来初步减薄InP晶圆背面，尽量减少背面损伤层。

　　＠开槽机:用于开研磨盘沟槽，保证研磨品质稳定。

　　抛光机:将研磨后的InP晶圆进行抛光，消除背面损伤层。

　　3.2设备规格及其型号:

　　手动贴蜡机:

　　设备的设计理念及特征

　　将陶瓷盘加热，在陶瓷盘上均匀涂上固体蜡，将InP晶圆均匀粘贴在陶瓷盘上。

　　并将上部的冲压头靠气缸压力来压着粘有晶片的陶瓷盘，让InP晶圆牢固粘贴在陶瓷盘上。

　　主要规格:

　　设备型号EBM-200-1AL-TC

　　粘贴压力MAX100kgfat0.25MPaSiliconPad

　　粘贴尺寸MAXOD200mm

　　腔U/D气缸PneumaticramOD63Stoke:170mm

　　腔真空真空发生器

　　冷却不锈钢水管套

　　时间控制真空和压力

　　尺寸400mm（W）300mm（D）730mm（H）

　　重量约100kg

　　特点:

　　水冷系统用专用冷水机控制水温

　　时间控制系统采用电动气阀

　　真空腔用真空发生泵

　　硅胶加压PAD晶圆TTV，BOW，WARP稳定性高

　　设备要求:

　　真空0.6MPa

　　选配:

　　1，冷水机；2，加热台EC-1200N；3，ENGIS固体蜡；4，陶瓷盘

　　单面研磨设备:

　　设备的设计理念及特征

　　搭载开槽装置的超高精密研磨设备EJW-400IFN是采用高刚性机体和独自开发的水冷式主

　　轴，经常保持一定的定盘温度，并且可以在超低震动状态下高精度旋转。另外，由于采用

　　高精度的开槽装置，设备可以经常维持稳定高精度的定盘平坦度进行加工。

　　主要规格:

　　1-1研磨设备

　　设备型号EJW-400IFN

　　研磨盘直径外径φ380mm；内径φ140mm

　　定盘转速10~350rpm可调（软起动/停机）

　　主电机200V1.5Kw3相

　　定盘冷却方式恒温水循环方式

　　陶瓷修整轮ACR-102SX3组

　　加压方式自重加压

　　工件固定方式通过使用陶瓷修正轮用滚轴手臂固定

　　主轴部分高刚性水冷主轴，0-350rpm

　　加工时间999分59秒

　　单面抛光设备:

　　设备的设计理念及特征

　　本设备是搭载φ300mm（12英寸）定盘的高精度、高效率的抛光机。任何人通过配置在设

　　备后部的台式定盘修正机都可以非常容易的实现定盘平面度数μm以内的修正，从而实现

　　高精度抛光加工。

　　主要规格:

　　设备型号EJ-380INWS

　　定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm（标准尺寸）

　　水冷部位密闭型冷却水循环式（内循环分离式）

　　主电机0.4Kw

　　定盘转速10~150rpm付低速开始/低速停止功能

　　加工轴数量2轴

　　修正圈外径φ178mm×内径φ140mm（ACR-102S）

　　加压方式自重加压

　　《安全装置》紧急停止按钮设备正面1个φ30mm按压锁定重置式

　　《设备概要》

　　尺寸705mm×750mm×680mmH*含防尘盖高度

　　重量100Kg（NET）