微型高低温探针台KT-Z4019MRL4T

　　微型真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

　　系列微型真空探针台是一款专门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估，是实验室测量薄膜材料电学性能必,备工具，广泛用于高校、科研、航天航空、院所等领域

　　探针尖 10μm

　　手动探针移动平台

　　X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台）

　　X轴控制精度 ≥500μm

　　R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆）

　　R轴控制精度 ≥500μm

　　Z轴移动行程 2mm ±1mm

　　Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）