探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

　　该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围:0-13mm,y方向调节范围:0-13mm；z方向调节范围:0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

　　主要技术要求

　　1． 类型:高温型:室温～350℃低温型-190℃:350℃低温型:室温到-190℃

　　2． 腔体材质:304不锈钢

　　3． 腔体内尺寸:φ90x40mm

　　4． 腔体上视窗尺寸:Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）

　　5． 腔体抽气口:KF16

　　6． 腔体进气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm气管接头可选

　　7． 腔体出气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm气管接头可选

　　8． 腔体正压:≤0.05MPa

　　9． 腔体真空度:机械泵≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

　　10． 样品台材质:304不锈钢

　　11． 样品台尺寸:26X26mm

　　12． 样品台-视窗 距离:30mm（可选凹视窗间距15mm）

　　13． 样品台测温传感器:A级PT100铂电阻

　　14． 样品台温度:室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）

　　15． 样品台测温误差:±0.2℃

　　16． 样品台变温速率:高温10℃/min 低温5℃/min大值

　　17． 温度显示:7寸人机界面

　　18． 温控类型:标准PID温控+自整定（可选30段编程控温）

　　19． 温度分辨率:0.1℃

　　20． 温控精度:±0.5℃

　　21． 温度信号输入类型:PT100热电阻 （可选K S B型热电偶）

　　22． 温控输出:直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

　　23． 辅助功能:温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

　　24． 电信号接头:配线转接BNC接头 BNC三同轴接头 SMA接头 香蕉插头 线长1.2米

　　25． 电学性能:绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V电流噪声 ≤10pA

　　26． 探针数量:4探针（可定做6探针）

　　27． 探针材质:镀金钨针

　　28． 探针尖:10μm

　　29． X轴移动行程:12mm±6mm

　　30． X轴控制精度:≤5μm

　　31． Y轴移动行程:12mm±6mm

　　32． Y轴控制精度:≤5μm

　　33． Z轴移动行程:12mm±6mm

　　34． Z轴控制精度:≤5μm

　　35． 显微镜类别:物镜放大+电子放大

　　36． 显微镜放大倍数:100倍

　　37． 显微镜工作间距:50-150mm

　　38． 相机分辨率:1080P 60帧

　　39． 相机信号输出:HDMI输出+USB输出

　　40． LED可调光源:LED光源

　　41． 显示屏:5寸 屏幕一体机

　　四:主要配置要求

　　1．1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台

　　2．1台 · 触摸屏温控箱

　　3. 1个·6mm聚四氟管

　　4. 1根电源线

　　5: 2个 6mm金属内衬

　　6:1根触摸屏笔

　　7:4个 SMA-香蕉插头

　　8:1根 功率输出线

　　9: 6米 6mm水冷管

　　10:1套 K型上盖扳手、备用螺丝，内六角

　　选配:分子泵真空机组机械泵