钛 靶

　　一、牌号

　　国内牌号:TA1、TA2。   美标牌号:GR1、GR2。

　　二、靶材的主要性能要求:

　　（1）纯度

　　纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。

　　（2）杂质含量

　　靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

　　三、加工工艺

　　锻造、轧制。

　　四、表面

　　车光、倒角。表面清洁光滑，无起皮，气孔，裂纹等缺陷。

　　五、规格

　　Φ100*40，Φ98*40，Φ95*45，Φ90*40，Φ85*35，Φ65*40较常见，其他规格可按客户要求制作。