高分辨率双晶X射线衍射仪简介:

　　X'Pert PRO MRD/XL是高级半导体材料的标准装备,用于: 高级材料科学和纳米技术,半导体材料研究和生产质量控制,可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如: 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping, 反射率和薄膜相分析,残余应力和织构分析, X'Pert PRO MRD/ XL 满足半导体、LED、薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析,并有精密的自动晶片装载选择;XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段,LED的业界标准。

　　高分辨率双晶X射线衍射仪可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如:

　　· 振动曲线分析和交互空间图

　　· 反射仪和薄膜相分析

　　· 残余应力和织构分析

　　帕纳科高分辨率x射线衍射仪同已经证明的标准版本系统一样,还有许多专门的版本:

　　· X'Pert PRO MRD平面衍射系统,可以测量与样品表面垂直的晶格衍射· X'Pert PRO Extended MRD 允许装备 X射线镜像和在线高分辨单色器,增强入射光束的强度。

　　· X'Pert PRO MRD XL 满足半导体,薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。

　　帕纳科高分辨率x射线衍射仪技术参数:

　　1,功率:3kW

　　2,测角仪重现性:0.0001度

　　3,测角仪类型:T-2T

　　4,五维样品台

　　衍射仪