气体传输:2-8种气体，Swagelok卡套连接

　　气体类型:30种

　　进气压力:0.1-0.4MPA

　　控制阀动作型式:常闭式

　　响应时间(sec):1S

　　工作压差:0.05～0.5MPA

　　最大耐压:3MPA

　　控制原理:质量流量控制，每个出口单独控制

　　流量:50SCCM，100SCCM，500SCCM可定做

　　采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，并且不会受到温度及压力变化的影响

　　其他流速可选择，其他气体可选择

　　准确性:优于1%

　　数据:输出的数据转换为标准状态下的质量（1个大气压，0度）

　　标准状态规定为:

　　标准温度………………0℃（273.15K）

　　标准压强………………101325Pa

　　控制显示方式:电脑操作

　　精确控制两种不同气体流量大小，使用其按不同比例（量）均匀混合，并精确控制混合气体流量大小。

　　可通过电脑软件控制及采集流量信号