详细说明
INFICON SKY CDG160D高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D真空计温度控制在160 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在1托至1000托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供0至10V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
益处
拥有成本更低,预热速度快50%,节能,低功耗
易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准
合规性与标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
用于刻蚀、CVD、PVD和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
成都四洋科技有限公司是FSSC成员之一,位于中国国家级成都经济技术开发区。主要涉足低温、电子、真空行业。公司拥有一批资深技术团队,是集生产、贸易、维修服务为一体的高科技公司。公司核心技术人员依托美国Chart(原中国国企“金凤“)及航空、核工业物理所技术优势,致力于低温储存技术、真空绝热技术、深冷处理技术的研究、开发及系统集成,提供特殊低温应用领域的技术方案、产品设计及专用低温设备研发;代理业务包括销售国外知名产品:美国AEG调功器、美国AE(Advanced Energy)公司电源、德国普发Pfeiffer真空设备及仪器、美国Brooks Automation CTI低温冷泵、GP真空计、瑞士英福康inficon、Brooks instrument流量计、GNB真空阀门等产品。