详细说明
INFICON高压热电离皮拉尼HPG400型真空计将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量2×10-6毫巴至大气压(1.5×10-6托至大气压)范围内的压力。HPG400型真空计为精确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。
益处
HPG400可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性
高压热电离真空计可以准确可靠地测量1×10-5… 1毫巴范围内的压力,进而改善过程控制
用户可选的热离子发射在5×10-2至1毫巴之间启动
皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
RoHS合规
典型应用
半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
工业镀膜
低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
成都四洋科技有限公司是FSSC成员之一,公司总部位于中国国家级成都经济技术开发区,在上海、重庆设有事务代办所。四洋科技是一家专业的真空获得、真空检漏、低温设备制造供应商,公司拥有一批资深技术团队是集生产、贸易、维修服务为一体的高科技公司,并先后参与了国家"863"、"125"部分项目研究合作,并建立了长期稳定的合作关系。公司秉承科技最前沿、技术一流的理念,与世界知名品牌Inficon英福康、Pfeiffer普发、Adixen阿尔卡特、Busch 普旭、CVI低温泵、VAT真空阀门、Swagelok真空配件、Line Tech 流量计、Brooks Instrument 流量计等建立了战略合作关系。