详细说明
瑞士Inficon英福康真空计 BCG450 B-A型皮拉尼电容膜片真空计
INFICON B-A型皮拉尼电容膜片真空计, BCG450,将三种不同的技术综合在一个简单,小型,经济的组装件中用于测量过程和基本压强从5 x 10-10至1500毫巴(3.75 x 10-10至1125乇). BCG450设计于取代三种传感器(热离子,增强对流的皮拉尼和真空开关),从而降低成本和可贵的工具空间.
瑞士Inficon英福康真空计 BCG450 B-A型皮拉尼电容膜片真空计优势:
1,BCG450节省成本和工具空间和减少真空测量安装和设置的复杂性。
2,与气体类型无关的压强测量,在10乇以上为任何气体混合物提供更可靠的预抽锁控制。
3,皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁。
4,自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预。
5,大气压下的差分压强测量可消除与大气压强变更有关的不定性。
6,易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性。
7,可选图形显示器和现场总线接口,例如 以太网。
8,RoHS兼容性。
瑞士Inficon英福康真空计 BCG450 B-A型皮拉尼电容膜片真空计应用:
1,半导体过程,传送和自锁室的压强测量。
2,工业镀膜。
3,从低至超高真空范围系统的一般真空测量和控制。