INFICON氦质谱检漏仪

　　INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件精准检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于精良的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。

　　UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，至1-CAL*,无与伦比的、用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。

　　系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。

　　UL1000具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。

　　INFICON LDS2000

　　优点:精准、稳定、高重复性、小维护、低拥有成本和易使用等。

　　稳定性

　　LDS2000保证离子源灯丝至少可使用三年的检漏仪。INFICON的三年保修期是举世无双的，它的意义远远不只是在灯丝上节省费用。全面的系统监测和优质的灯丝是高在机运行时间、低拥有成本、温度稳定性和长期系统稳定性的基本构成单元。

　　灵活性

　　适用于所有测试系统的配置， LDS2000在任何测试条件下都可提供快速和高重复性的结果。许多LDS2000的特点中包含多用性与容易地装入系统。可适配任何安装部位的结构可配置于粗检，精检和吸枪，模式。在每个模式中宽的灵敏度范围可使用灵活的测试技术。简易和无需经常的预防性维护（PM）提供将机器配置于最优性能与组装的灵活性。卓越的线性特性可在不同的漏率要求下对各部件每个漏点进行无需再校准的检漏。

　　满足要求的多功能通讯

　　LDS2000装备整套继电器和用于PLC控制的模拟输入与输出，以及用于PC控制的主机数字接口连接件。控制与数据采集可通过模拟I/O，RS232和RS485通讯端口。使用现场总线转换器，可通过公用现场总线协议控制LDS2000。

　　LDS2000具有许多模拟输出选项。在大多情况下，仪器可适应现有的检漏系统，无需调整PLC中的标度因数。

　　INFICON Protec P3000型吸枪氦检漏仪

　　INFICON Protec P3000型吸枪氦检漏仪专用于生产环境下的全时性吸枪，检漏。Protec P3000为冰箱，冷柜，空调器，汽车空调器，制冷元件和类似产品的装配和中间生产效率与可靠性。其特点是容易与舒适的操作，不会因无意或未培训而产生失误。在生产周期中快速地达到最优工作状态。Protec P3000采用创新的INFICON智能技术，将可靠，耐用，无需维护的传感器与独特设计，坚固结实的检漏仪相结合，为用户提供很低的使用成本和非常高的运行效率。

　　特   点

　　改进的系统结构可补偿不正确的检漏操作，降低潜在的漏检可能性；多点报警确保不会错过因疏忽对报警的注意；人机控制的探头手柄上有小型显示器显示漏率，以便操作人员将注意力集中于吸枪，检漏的同时监测漏率；I.Guide操作人员引导模式确保操作人员用正确的技术测试应检查的部位；可显示来自气体库的冷媒等效漏率；探头内置的照明源可帮助您精准地确定探尖的位置；新型的低维护传感器达到高可靠性和低使用成本；自动待机功能可防止污染物进入吸枪探头，节省过滤件与提高使用寿命；工作软件具备多种语言。

　　为提高生产率更可靠地检漏报

　　Protec P3000对操作人员技术有很好的适应性。可在离漏孔相当远的距离下检漏,在快速移动吸枪探尖的情况下,不会错过任何一个存在的漏孔。搜寻模式允许操作人员快速扫描漏孔是否存在。一旦检测到讯号,即可简易地确定漏孔的位置。

　　技术规范

　　可检漏率                           1X10-7重毫巴·升/秒

　　测量范围                               5个量级

　　传感器反应时间                         450毫秒

　　包括吸枪，管线在内的反应时间             < 0.7秒

　　漏率单位                               毫巴·升/秒;帕·立方米/秒;ppm

　　冷媒等效漏率                           克/年；盎司/年；磅/年

　　启动时间                               < 3分钟

　　尺寸(宽X高X深)                         610X265X370毫米

　　24X10.4X14.6英寸

　　重量                                   27公斤

　　气流量变                     &nbs