本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，最后向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。设备应适用电力行业高压环网充气柜的气密性检测、SF6充注。应具有大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。

　　主要配置

　　主要技术参数及要求

　　1、 真空箱尺寸:长00mm×宽00mm×高00 mm

　　最大充氦气压力:0.05Mpa（可调）

　　2、 工作节拍:＜40分钟/件

　　3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。

　　4、 氦气回收率:95%-98%

　　5、 可检漏率:≤2.8×10-6Pa m3/S

　　(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

　　6、 保压检测时间:（1-600S可调）

　　7、 工件真空≤1000Pa

　　8、真空箱检漏真空≤20 Pa

　　9、系统自身漏率:≤10-9 Pa m3/s

　　10、箱门开关方式:自动

　　真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

　　11、真空箱及送料车承重＞1000Kg

　　12、设备校准:可自动操作外置漏孔校准

　　13、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，使显示漏率可以表示工件实际的整体 

　　漏率。

　　14、真空箱检测时充氮判大漏的同时，完成工件强度测试，（保压2分钟）。

　　15、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。

　　16、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。

　　17、对氦气浓度、压力进行监控，自动补充氦气。

　　18、具有自动清氦功能。

　　19、具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功 

　　能。

　　20、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。

　　21、有自动、手动两种操作模式。