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　　1960年，出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。

　　1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。

　　1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。

　　1976年，美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。

　　1989年，日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术（EUVL）。

　　1990年后，开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。

　　1992年，IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂，而且在193 nm有较好的透光性 。

　　聚二甲基硅氧烷-b-聚氧乙烯PDMS-b-PMAA

　　Poly(dimethylsiloxane-b-methacrylic acid)

　　聚二甲基硅氧烷-b-聚甲基丙烯酸

　　P2VP-b-PEO

　　Poly(2-vinyl pyridine-b-ethylene oxide)

　　聚乙烯基吡啶-b-聚氧乙烯

　　Poly(4-vinyl pyridine-b-methylmethacrylate)P2VN-PCL

　　Poly(2-vinyl pyridine-b-ε-caprolactone)

　　PPO-PCL

　　Poly (propylene oxide-b-ε-caprolactone)

　　PDMS-PnBuA

　　Poly(dimethylsiloxane-b-n-butyl acrylate)PDMS-PtBuA

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　　实施例12-((2-羟乙基)二硫烷基)乙基甲基丙烯酸酯(hsema)的制备将2,2'-二硫二乙醇(1.54g，10mmol)和三乙胺(1.52g，15mmol)溶解于50ml无水四氢呋喃中，冰水浴条件下冷却至0℃。将甲基丙烯酰氯(1.05,10mmol)溶于25ml无水四氢呋喃，剧烈搅拌下逐滴缓慢加入上述反应液中。室温下反应过夜，过滤除不溶性盐；然后，旋转蒸发以除去溶剂。将得到的粗产品用50ml乙酸乙酯稀释，并用水、饱和氯化钠溶液分别洗涤三次，以除去未反应的原料中杂质。分离收集有机相，用无水硫酸镁干燥。旋转蒸发浓缩溶液，然后通过二氧化硅柱分离纯化，流动相为乙酸乙酯/石油醚(1/3，v/v)，得到纯的2-((2-羟乙基)二硫烷基)乙基甲基丙烯酸酯(hsema)。1h-nmr(cdcl3，δ，ppm，tms):6.14(s，1h)，5.60(s，1h)，4.43(t，2h)，3.90(t，2h)，2.98(t，2h)，2.89(t,2h)，1.95(s，3h)。

　　聚醋酸乙烯酯接枝聚苯乙烯(PVAc-g-PSt)复合微球:通过链转移自由基聚合和端基置换反应制备了苯乙烯单封端的 PVAc大分子单体,用凝胶渗透谱(GPC),傅里叶变换红外光谱(FTIR)等对大分子单体的分子量,分子量分布与结构组成进行了测定,发现PVAc 大分子单体的结构明确,分子量在104左右.以得到的PVAc大分子单体为反应性分散稳定剂,一定比例的乙醇/水为反应介质,采用分散共聚法制得了核为聚 苯乙烯(PSt),壳为聚醋酸乙烯酯(PVAc)大分子链的聚醋酸乙烯酯接枝聚苯乙烯(PVAc-g-PSt)核壳结构复合微球.