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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
PBd-b-PLLAPoly(butadiene(1,2 addition)-b-lactide)
聚丁二烯-b-聚乳酸
PBd-b-PDLLA
Poly(butadiene(1,2 addition)-b-D,Llactide)
聚丁二烯-b-聚乳酸
PBd-b-P4VP
Poly(butadiene(1,4 addition)-b-4-vinylpyridine)
仪器:Unic-2602紫外分光光度计 , 1700红外光谱 仪 , PHS-2酸度计。2.2 PEI 和重金属离子螯合反应的测定 2.2.1 电导滴定 将一定量的PEI烘干至恒重, 溶于水中, 将溶液转移至容量瓶中, 用蒸馏水稀释至标线, 配制摩尔浓度为20 mmol/L的PEI溶液 (单体的摩尔浓度单位) 。分别配制摩尔浓度为20mmol/L的Cr3+、Pb2+、Zn2+溶液。用移液管移取5 m L的上述溶液, 分别加入锥形瓶中, 溶液的p H用缓冲溶液调节至约6。用PEI溶液滴定离子溶液, 采用数字电导率仪记录滴定过程中溶液电导率的变化, 记下消耗的PEI溶液。
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PS-PEtA-PS
Poly(styrene-b-ethyl acrylate-b-styrene)
PS-PMMA-PSPoly(styrene-b-methylmethacrylate-b-styrene)
PS-PEO-PS
Poly(styrene-b-ethylene oxide-b-styrene)
其模塑料的聚合技术主要有三种,悬浮聚合、溶液聚合和本体聚合。其中悬浮聚合和溶液聚合技术成熟,被大多数厂商使用。本体聚合得到的聚合物较纯净,无杂质,且能耗低,,但技术门槛较高,只有德国、美国和日本几家企业掌握此技术截至 2010 年, PMMA 总产能为 225 万吨/年,其中板材占 49%,模塑料占 51%
从产品性能和用途来看,PMMA 模塑料又可大致分为通用级、耐热级、光学级和抗冲击级四类