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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
聚乳酸-聚烯丙基丙交酯-b-聚乙二醇-叶酸PCLA-mPEG
Poly(caprolactone-co-D,L-lactide-)-b-poly(ethyleneglycol) CL:LA 50:50
聚乳酸-聚已内酯-b-聚乙二醇
PCLA-PEG-NH2
Poly(caprolactone-co-D,L-lactide-)-b-poly(ethyleneglycol)-Amine CL:LA 50:50
聚甲基丙烯酸(PMMA)为透明易碎的固体。溶于水,易溶于甲醇、乙醇、乙二醇乙醚、二甲基甲酰胺,不溶于丙酮和乙醚。由丙酮和氰化氢的加成中间产物2-甲基-羟基丙腈水解或由2-氰代丙醇与硫酸作用,再经水解制得甲基丙烯酸,甲基丙烯酸在引发剂过硫酸铵或双氧水和调节剂的存在下,进行聚合制得。目前,PMAA的制备方法主要丙酮氰醇法(HCN)和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)水解法。丙酮氰醇法(HCN)是国内外生产聚甲基丙烯酸的主要方法,在丙酮与氰氢酸反应生产丙酮氰醇后,丙酮氰醇与浓硫酸反应,生成甲基丙烯酰胺硫酸盐,水解得甲基丙烯酸,在引发剂存在下聚合制得。该生产工艺繁琐、成本高,聚合时对pH值要求高,聚合速率较低;聚甲基丙烯酸甲酯水解法是将PMMA在酸碱催化、加热条件下水解制备聚甲基丙烯酸或聚甲基丙烯酸盐。
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2 吸收光谱配制PEI-Cr3+混合溶液 , 移取5 m L 20 mmol/L的Cr3+溶液加入一系列容量瓶中 (水合Cr3+离子呈褐) , 分别移取不同体积的20 mmol/L的PEI溶液加入上述容量瓶中, 产生粉红的水不溶物, 用蒸馏水稀释至标线。将混合物离心, 在490~660 nm范围内测定上清液的吸收曲线 (即为剩余的水溶液中Cre离子的吸收曲线) 。3离 子 印 迹 聚 合 物 IIP-PEI/Si O2的合成及表征复合颗粒的合成过程参见文献。称取5 g吸附Cr3+之后的PEI/SiO2及10 m L的环氧氯丙烷, 加入到无水乙醇中, 室温 (20℃) 下搅拌反应30 min。随后加入10 m L 0.01 mol/L的NaOH, 继续在室温反应。, 用0.1 mol/L的盐酸洗涤颗粒, 去除模板离子, 得到Cr3+印迹聚合物 (IIP-PEI/SiO2) 了。测定离子印迹后颗粒的红外光谱, 确定其化学结构。
Poly(2-vinyl naphthalene-b- n-butylacrylate)P2VN-PMMA
Poly(2-vinyl naphthalene-b- methylmethacrylate)
P2VP-PMMA
Poly(2-vinyl pyridine-b-methylmethacrylate)
P4VP-PMMA