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　　20世纪90年代中期，美国明尼苏达大学纳米结构实验室提出了一种叫做“纳米压印成像”（nanoimprint lithography）的新技术。

　　1996年，欧洲主要成立了4个极紫外光刻相关研究项目，约110个研究单位参与，其中比较重要的项目为MEDEA和MORE MOORE。

　　1997年，Intel公司成立了包括AMD、Motorola、Micron、Infineon和IBM的EUV LLC，并与由LBNL、LLNL和SNL组成的国家技术实验室（VNL）签订了极紫外光刻联合研发协议（CRADA）。

　　1998年，日本开始极紫外光刻研究工作，并于2002年6月成立极紫外光刻系统研究协会（EUVA） 。

　　1962年，中国北京化工厂接受中国科学院半导体研究所的委托，着手研究光刻胶，以吡啶为原料，采用热法工艺，制成聚乙烯醇肉桂酸酯胶。

　　1967年，中国第一个KPR型负性光刻胶投产。

　　1970年，103B型、106型两种负胶投产，环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。

　　Poly(dimethylsiloxane-b-lactide)

　　PCL-PLA

　　Poly(ε-caprolactone-b-lactide)

　　PtBuA-PS-PtBuA

　　Poly(t-butyl acrylate)-b-Polystyrene-b-Poly(t-butylacrylate)PMMA-PMAA-PMMA

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　　聚醋酸乙烯酯接枝聚苯乙烯(PVAc-g-PSt)复合微球:通过链转移自由基聚合和端基置换反应制备了苯乙烯单封端的 PVAc大分子单体,用凝胶渗透谱(GPC),傅里叶变换红外光谱(FTIR)等对大分子单体的分子量,分子量分布与结构组成进行了测定,发现PVAc 大分子单体的结构明确,分子量在104左右.以得到的PVAc大分子单体为反应性分散稳定剂,一定比例的乙醇/水为反应介质,采用分散共聚法制得了核为聚 苯乙烯(PSt),壳为聚醋酸乙烯酯(PVAc)大分子链的聚醋酸乙烯酯接枝聚苯乙烯(PVAc-g-PSt)核壳结构复合微球.

　　紫外光谱法根据紫外光谱原理,当价电子与氢原子形成氢键后,电子的能量会发生变化。同时张力或偶作用迫使分子轨道发生扭曲变形,电子跃迁概率发生变化,导致吸光度发生变化。因此,根据紫外光谱的变化,可推测模板分子与功能单体间相互作用强度和复合比例等有关信息。 (2)核磁共振法 核磁共振光谱法(NMR)可以提供有关确切作用位点和作用强度的大量信息,是一种更具潜力且准确的筛选方法。模板分子与功能单体相互作用,分子间氢键对模板分子的活泼氢产生强烈束缚作用并使其屏蔽作用变小。通过核磁共振技术测定溶液中功能单体对活泼氢化移的影响,从而找出佳的功能单体和佳的配比。