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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
PIB-b-PDMSPoly(isobutylene-b-dimethylsiloxane)
聚异丁烯-b-聚二甲基硅氧烷
PIB-b-PCL
Poly(isobutylene-b-ε-caprolactone)
聚异丁烯-b-聚已内酯
PIB-b-P4VP
Poly(isobutylene-b-4-vinyl pyridine)
其中,cpt-ss-m接枝率的计算方法如下:收集纯化过程中的乙腈溶液,通过hplc测定其中cpt-ss-m的含量,则接枝率为(起始投料cpt-ss-m的量-测得cpt-ss-m的量差值)×100%/起始投料cpt-ss-m的量。hplc测定条件为:
仪器:agilent1260,agilent,usa;
谱柱:c18,4.6mm×150mm,5μm,agilent,usa;
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HPMA 更适合高温、高压、高硬度的水处理系统,具有优良的阻垢、分散和耐高温性能,常用于锅炉、海水淡化和蒸发设备中。 PAA 则适用于常温水处理系统,主要用于一般工业冷却水、反渗透系统等领域,分散和阻垢性能较好,但耐高温性相对较差。
这两种化合物常根据具体应用场景的不同需求来选择和使用。PMAA接枝聚苯乙烯(PSt-g-PMAA)共聚微球的应用: 通过原子转移自由基聚合(ATRP)和定向水解反应得到了苯乙烯单封端聚甲基丙烯酸(St—PMAA)大分子单体,使其与苯乙烯(st)在醇/水混合介质中进行接枝共聚反应,制得了以PSt为核,PMAA为壳,形态规整的聚合物复合微球.FT-IR和^1H-NMR的分析表明:St—PMAA大分子单体的结构明确,电位测定发现复合微球表面带有明显的负电荷,且在pH=5.5左右其Zeta电位可发生显著变化,说明该复合微球具有pH响应性。
进行了5 m L相同浓度的Cr3+溶液与不同体积的PEI溶液的反应, 上清液的吸附光谱如图2所示。从图2可以看出, 体系的吸光度 (剩余Cr3+离子的吸光度) 随着加入的PEI溶液的增加逐渐降低, 当PEI溶液体积达到30 m L时 (曲线h) , PEI加入量与Cr3+分子比为6∶1, 体系的吸光度达到小值, A=0, 表明Cr3+已被耗尽;随后, 继续增加PEI的体积, 体系的吸光度仍为0, 曲线i和曲线h叠加。实验结果表明PEI大分子上氨基的N原子与Cr3+的配位呈定量, 化学计量比为6∶1, 配位体的螯合数为6。