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　　20世纪90年代中期，美国明尼苏达大学纳米结构实验室提出了一种叫做“纳米压印成像”（nanoimprint lithography）的新技术。

　　1996年，欧洲主要成立了4个极紫外光刻相关研究项目，约110个研究单位参与，其中比较重要的项目为MEDEA和MORE MOORE。

　　1997年，Intel公司成立了包括AMD、Motorola、Micron、Infineon和IBM的EUV LLC，并与由LBNL、LLNL和SNL组成的国家技术实验室（VNL）签订了极紫外光刻联合研发协议（CRADA）。

　　1998年，日本开始极紫外光刻研究工作，并于2002年6月成立极紫外光刻系统研究协会（EUVA） 。

　　1962年，中国北京化工厂接受中国科学院半导体研究所的委托，着手研究光刻胶，以吡啶为原料，采用热法工艺，制成聚乙烯醇肉桂酸酯胶。

　　1967年，中国第一个KPR型负性光刻胶投产。

　　1970年，103B型、106型两种负胶投产，环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。

　　该方法水解速度慢，水解产物往往是PMMA/PMAA共聚物，同时也存在酸碱中和污染严重等问题，在实际的生产中很少采用。聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)俗称有机玻璃，是一种热塑性树脂，目前已广泛应用在生活用品、家用电器、建筑、皮革、涂料等多个领域，国内PMMA 消费量年均增长保持在6％以上，到2010年，国内PMMA消费量将达20万～22万吨，在PMMA得到广泛使用的同时，也产生了大量废料，约占使用量的1 ％左右，如何将PMMA废弃物合理利用是目前需要解决的难题。

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　　此外，PS-b-PMAA也可作为吸附剂，吸附水中的金属离子或污染物，广泛应用于水处理、环境保护等领域。由于PMAA部分具有良好的水溶性和离子交换能力，PS-b-PMAA可以有效去除水中的有害物质。在表面改性和涂层技术中，PS-b-PMAA常被用作增强涂层附着力的材料。PS-b-PMAA能够在表面形成致密的聚合物膜，改善材料的耐久性和抗腐蚀性。此类应用在电子产品和防腐材料中尤其重要。

　　采用自由基聚合的方法，将硅烷改性CNCs通过共价结合的方式引入到聚N，N-二甲基丙烯酰胺（PD-MA）水凝胶中，制备了一种CNCs-PDMA纳米复合水凝胶，研究发现合成的纳米复合水凝胶具有力学韧性和可拉伸性，具有比纯PDMA水凝胶更有效的能量耗散机制。CNCs（表面醛基化）增强的POEGMA复合水凝胶，该复合水凝胶在结构上具有各向异性，其杨氏模量在正交方向上具有明显的变化，因此该复合水凝胶可作为定向组织工程的有效仿生支架。