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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
紫外光谱法根据紫外光谱原理,当价电子与氢原子形成氢键后,电子的能量会发生变化。同时张力或偶作用迫使分子轨道发生扭曲变形,电子跃迁概率发生变化,导致吸光度发生变化。因此,根据紫外光谱的变化,可推测模板分子与功能单体间相互作用强度和复合比例等有关信息。 (2)核磁共振法 核磁共振光谱法(NMR)可以提供有关确切作用位点和作用强度的大量信息,是一种更具潜力且准确的筛选方法。模板分子与功能单体相互作用,分子间氢键对模板分子的活泼氢产生强烈束缚作用并使其屏蔽作用变小。通过核磁共振技术测定溶液中功能单体对活泼氢化移的影响,从而找出佳的功能单体和佳的配比。
Poly(styrene)-block-poly(ethylene glycol)聚苯乙烯-b-聚乙二醇
PDLLA-b-PAA
Poly(D,L-lactide-block-acrylic acid)
DL型聚乳酸-b-聚丙烯酸
PGA-PEG-PGA
Polyglycolide-block-poly(ethyleneglycol)-block-polyglycolide
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PS-b-PnBuMAPoly(styrene-b-n-butyl methacrylate)
聚苯乙烯-b-聚甲基丙烯酸丁酯
PS-b-PtBuOS
Poly(styrene-b-t-butoxystyrene)
聚苯乙烯-b-聚丁氧基苯
PS-b-PtBuMA
Poly(styrene-b-t-butyl methacrylate)
PLCL-PEG-PLCL,LA:CL 50:50
Poly(lactide-co-caprolactone)-b-poly(ethyleneglycol)-b-poly(lactide-co-caprolactone)
聚乳酸-聚已内酯-b-聚乙二醇-b-聚乳酸-聚已内酯PLCL-PEG-MAL
Poly(lactide-co-caprolactone)-b-poly(ethyleneglycol)-MAL LA:CL 50:50