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20世纪90年代中期,美国明尼苏达大学纳米结构实验室提出了一种叫做“纳米压印成像”(nanoimprint lithography)的新技术。
1996年,欧洲主要成立了4个极紫外光刻相关研究项目,约110个研究单位参与,其中比较重要的项目为MEDEA和MORE MOORE。
1997年,Intel公司成立了包括AMD、Motorola、Micron、Infineon和IBM的EUV LLC,并与由LBNL、LLNL和SNL组成的国家技术实验室(VNL)签订了极紫外光刻联合研发协议(CRADA)。
1998年,日本开始极紫外光刻研究工作,并于2002年6月成立极紫外光刻系统研究协会(EUVA) 。
1962年,中国北京化工厂接受中国科学院半导体研究所的委托,着手研究光刻胶,以吡啶为原料,采用热法工艺,制成聚乙烯醇肉桂酸酯胶。
1967年,中国第一个KPR型负性光刻胶投产。
1970年,103B型、106型两种负胶投产,环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。
He等[6]以3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷 (KH-570) 修饰的纳米硅为载体材料, 甲基丙烯酸 (MAA) 为功能单体, 乙二醇二甲基丙烯酸酯 (EGDMA) 为交联剂, 通过表面接枝共聚法制备了天麻素 (GAS) SSMIP。该SSMIP对GAS具有良好的选择性和较快的结合动力学, 对竞争底物的选择性系数为3.455, 吸附在40min可达到平衡。Gao等[7]以丙基三甲氧基硅烷 (MPS) 作为媒介物, 首次将功能性高分子聚甲基丙烯酸 (PMAA) 接枝到微米级的硅胶粒子表面 (PMAA/SiO2) , 以肌酐为模板, 乙二醇缩水甘油醚 (EGGE) 为交联剂, 通过PMAA和肌酸酐分子间的氢键和静电作用制备肌酐印迹材料MIP-PMAA/SiO2。实验结果表明:MIP-PMAA/SiO2对肌酸酐具有良好的亲和力和较高的识别选择性;而PMAA/SiO2粒子对肌酸酐几乎不存在选择性识别。在碱性条件下PMAA/SiO2对肌酐和肌酸的选择性系数分别为1.23和1.30;而MIP-PMAA/SiO2对肌酐和肌酸的选择性系数显著增大, 分别为11.64和12.87, 显示出对肌酸酐的识别选择性和亲和力。
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其次,通过在种子聚合单体溶胀阶段加入致孔剂甲苯,制备出多孔聚苯乙烯微球,探讨了交联度和甲苯用量对微球表面孔径大小和分布的影响;用不同发射波长的量子点对多孔微球进行荧光编码,制备出量子点荧光编码微球,并对多孔荧光微球荧光性能进行了相应的表征;用多孔的量子点编码荧光微球进行免疫反应实验,并通过光纤光谱仪对免疫反应后微球的荧光光谱进行扫描分析.瑞禧分享-笼空状磺化聚苯乙烯微球的研究:利用高能射线辐射引发RAFT聚合和接枝反应的方法,成功制备了表面接枝聚丙烯酸(PAA)的笼空状磺化聚苯乙烯基微球.当环境p H改变时,引起表面PAA分子链构象变化,从而对笼空状微球表面的孔洞尺寸进行调控.当此p H响应性多孔微球负载罗丹明B(Rh B)后,Rh B的释放速率随环境p H的改变而改变.当p H为5时,Rh B在48 h内累计释放率由p H为2时的21%增加至89%.继续升高p H值时,Rh B的释放速率则又下降.
PDMS-b-PMAA(聚二甲基硅氧烷-聚丙烯酸嵌段共聚物)结合了PDMS(聚二甲基硅氧烷)的柔性、疏水性与PMAA(聚丙烯酸)的亲水性、离子交换特性,因而在多个领域具有的应用。在物递送领域,PDMS-b-PMAA被用于制备响应性纳米载体。PMAA部分的酸性基团在不同pH环境下能够发生离子化或去离子化反应,因此能根据环境的变化调节物的释放速度。这种pH响应型的特性使其在肿瘤治疗中有效,因为肿瘤细胞区域通常呈现酸性环境,物能够在该区域迅速释放。此外,PDMS部分的柔性和疏水性使得载体的结构更加稳定,提高了载体的生物相容性和物的携带能力。