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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
Poly(ethylene oxide-b-acrylamide)聚氧乙烯-b-聚丙烯酰胺PEO-b-PTMEG
Poly(ethylene oxide-b-butylene oxide)
聚氧乙烯-b-聚氧化丁烯
PEO-b-PCL
Poly(ethylene oxide-b-ε-caprolactone)
聚乳酸-聚已内酯-b-聚乙二醇-叶酸Hyaluronic acid-SH
Hyaluronic acid-Thiol
透明质酸-巯基
Gelatin-SH
Gelatin-Thiol
PAA-b-PAMD
Poly(acrylic acid-b-acrylamide)
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2 IIP-PEI/Si O2的合成过程合成复合材料PEI/Si O2的反应过程见参考文献。在PEI大分子接枝到硅胶表面后, 在水中充分膨胀, 对Cr3+产生了较强的螯合力。首先, 发生环氧氯丙烷与PEI链上的氨基的开环反应, 当Na OH加入时, ECH和PEI链的氨基发生脱氯化氢反应。用盐酸溶液去除模板离子, 形成IIP-PEI/Si O2。合成过程如示意图1所示。Cr3+溶液体积:5 m L, PEI 溶液体积: (a) 27.0 m L (b) 28.0 m L (c) 29.0 m L (d) 29.2 m L (e) 29.4 m L (f) 29.6 m L (g) 29.8 m L (h) 30.0 m L (i) 32.0 m L3.3 PEI/SiO 2和 IIP-PEI/Si O2的红外光谱
紫外光谱法根据紫外光谱原理,当价电子与氢原子形成氢键后,电子的能量会发生变化。同时张力或偶作用迫使分子轨道发生扭曲变形,电子跃迁概率发生变化,导致吸光度发生变化。因此,根据紫外光谱的变化,可推测模板分子与功能单体间相互作用强度和复合比例等有关信息。 (2)核磁共振法 核磁共振光谱法(NMR)可以提供有关确切作用位点和作用强度的大量信息,是一种更具潜力且准确的筛选方法。模板分子与功能单体相互作用,分子间氢键对模板分子的活泼氢产生强烈束缚作用并使其屏蔽作用变小。通过核磁共振技术测定溶液中功能单体对活泼氢化移的影响,从而找出佳的功能单体和佳的配比。