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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
Poly(methyl methacrylate-b-methacrylicacid)聚甲基丙烯酸甲酯-聚甲基丙烯酸PtBMA-b-PEO
Poly(t-butyl methacrylate-b-ethylene oxide)
聚甲基丙烯酸叔丁酯-b-聚氧乙烯
PMMA-b-PAA
Poly(methyl methacrylate-b-Acrylic Acid)
负载DOX**的MOF纳米粒子高核过渡—稀土混金属纳米团簇
苯硒酚修饰金纳米团簇(Se_Au NCs)
黄原酸功能化亲水聚合物修饰荧光金纳米团簇
Cd修饰的Au19Cd2(SR)16
钴/金双金属纳米团簇(GSH@Co-AuNCs)
GSH包覆纳米团簇改性N-(4-氨基丁基)-乙基异鲁米诺(ABEI)的复合材料GSH@Co AuNCs ABEI
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Methoxy poly(ethyleneglycol)-b-polyethyleneimine聚乙二醇-b-聚乙烯亚胺PCL-b-PEI
Poly(ε-caprolactone)-b-polyethyleneimine
聚已内酯-b-聚乙烯亚胺
PLGA-b-PLL
Poly(lactide-co-glycolide)-b-poly(lysine-Zprotected)
从图10中可以看出, 初的饱和吸附量随物料比而递增, 原因是在增加ECH用量时, Si O2聚合层上的印迹空穴数量在增加, 因此IIP-PEI/Si O2的平衡吸附量增大。当ECH与N原子的摩尔比大于0.51后, IIP-PEI/Si O2的平衡吸附量增大, 即保持常数。 这个结果 表明IIP-PEI/Si O2的伯胺基、仲胺基在ECH与N原子物料 比为0.51的物料比的情况下与交联剂ECH反应, 并且可通过红外光谱来明。因此在这样的条件下, 当PEI/Si O2上形成的空穴数量达到限值时, 它不会再随PEI/Si O2的增加而增加, 并且IIP-PEI/Si O2的吸附量将保持不变。