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1960年,出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。
1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。
1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。
1976年,美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。
1989年,日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术(EUVL)。
1990年后,开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。
1992年,IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂,而且在193 nm有较好的透光性 。
2 活性可控自由基聚合法在聚合体系中引入一种的化合物, 与活性种链自由基进行可逆的链终止或链转移反应, 致其失活变成无增长活性的休眠种, 该休眠种在实验条件下又可分裂成活性链自由基, 由此可建立活性种与休眠种间的动态平衡。这种的动态平衡反应不但能将体系中的自由基浓度控制得很低并抑制其终止, 还可以控制聚合产物的分子量和分子量分布, 实现活性可控自由基聚合。 Su等[17]通过拟活性自由基聚合法合成磺胺甲嘧啶 (SMZ) SSMIP。他们使用化学试剂将引发转移终止剂固定在硅胶表面, 以SMZ作为模板, MAA为功能单体, EDMA为交联剂, 由紫外辐射引发聚合反应。通过液相谱对SMZ进行定量分析, 发现该SSMIP对SMZ具有较好的选择性和较高的柱效率, 检测线性范围为0.1~50μg/mL, 检测限为25ng/mL, 对牛奶样品中SMZ的加标回收率在78%以上。
实施例2cpt-ss-m的制备在氮气气氛下,将喜树碱(0.70g,2mmol)和三光气(0.2g,0.66mmol)共混于50ml无水二氯甲烷中,随后加入4-二甲氨基吡啶(0.73g,6mmol),搅拌反应1小时。接着将hsema(0.55g,2.5mmol)溶于10ml无水四氢呋喃中,逐滴加入到上述反应液中。室温下反应24小时后,过滤反应混合物,以除去不溶性盐;旋转蒸发除去溶剂。将残余物重新溶解在二氯甲烷中,分别用稀盐酸(100mmol/l)、水、饱和氯化钠溶液分别洗涤两次。收集有机层,并用无水硫酸镁干燥。浓缩上清液,以二氯甲烷/甲醇(200/1,v/v)作为洗脱液,通过二氧化硅硅胶柱分离纯化,获得淡黄的供聚合用的喜树碱单体(cpt-ss-m)。1hnmr(cdcl3,δ,ppm,tms):8.41(s,1h),8.24(d,1h),7.95(d,1h),7.83-7.86(m,1h),7.67-7.70(m,1h),7.36(s,1h),6.08(s,1h),5.55(s,1h),5.40(d,2h),5.31(d,2h),4.42-4.33(m,4h),3.07-2.80(m,4h),2.33-2.12(m,2h),1.91(s,3h),1.01(m,3h)。esi-msm/z:计算值为597.13;实测值为597.14[m+h]+。图1为cpt-ss-m的1h-nmr图谱,明了该化合物成功制备。
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聚二甲基硅氧烷-b-聚氧乙烯PDMS-b-PMAA
Poly(dimethylsiloxane-b-methacrylic acid)
聚二甲基硅氧烷-b-聚甲基丙烯酸
P2VP-b-PEO
Poly(2-vinyl pyridine-b-ethylene oxide)
聚乙烯基吡啶-b-聚氧乙烯
实施例16空白pmaa纳米凝胶的制备将甲基丙烯酸(500mg),甲叉双丙烯酰胺(55.6mg)和偶氮二异丁腈(16.8mg),加入到干燥的50ml单颈圆底烧瓶中,接着加入40ml无水乙腈,超声使溶解。通氮气0.5小时以除去反应体系中的空气,接着将反应混合物加热至沸腾状态并保持2小时。待反应结束后,收集反应混合物,以1×104转/分钟的转速离心10分钟,得空白pmaa纳米凝胶。接着,加入20ml乙腈,超声分散均匀,离心,重复此操作三次,获得白的空白pmaa纳米凝胶。马尔文粒度仪测得的该纳米凝胶的粒径为425±6nm,电位为22.5±1.7mv。