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　　1960年，出现邻重氮萘醌-酚醛树脂紫外正性光刻胶 。

　　1968年美国IBM公司的Haller等人发明聚甲基丙烯酸甲酯电子束光刻胶。

　　1973年由Bell实验室和Bowden发明聚烯砜类电子束光刻胶。

　　1976年，美国麻省理工学院的H. Smith提出X射线曝光技术。

　　1989年，日本科学家Kinoshita提出极紫外光刻技术（EUVL）。

　　1990年后，开始出现248 nm化学增幅型光刻胶。

　　1992年，IBM使用甲基丙烯酸异丁酯的聚合物作为化学增幅的193 nm光刻胶材料。同年Kaimoto等也发现了非芳香性的抗蚀刻剂，而且在193 nm有较好的透光性 。

　　Poly(ethylene oxide-b-propylene oxide)聚氧乙烯-b-聚环氧丙烷PEO-b-PtBuA

　　Poly(ethylene oxide-b-t-butyl acrylate)

　　聚氧乙烯-b-聚丙烯酸三丁酯

　　PEO-b-PtBUM

　　Poly(ethylene oxide-b-t-butyl methacrylate)

　　PnBuA-b-PAAPoly(N-butylacrylate-b-acrylic acid)聚丙烯酸正丁酯-b-聚丙烯酸

　　PANa-b-PMMA

　　Poly(Sodium Acrylate-B-Methyl Methacrylate)

　　聚丙烯酸钠-b-聚甲基丙烯酸甲酯

　　PMMA-b-PMAA

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　　2 新的材料制备技术(1)分子印迹磁性材料 磁性材料从材质上可以分为金属及合金磁性材料和铁氧体磁性材料两大类。铁氧体磁性材料又可以分为多晶结构和单晶结构材料。从应用的功能上来分,磁性材料又可以分为软磁材料、永磁材料、磁记录2矩磁材料、旋磁材料等。结合磁性材料的分子印迹技术制备的MIPs称为磁性分子印迹聚合物,表面修饰过的磁性微球在聚合过程中嵌入MIPs母体中,从而使MIPs具有一定的磁性。MIPs在再识别吸附过程完成后,分离传统MIPs和溶液需要离心或过滤等烦琐的步骤。磁性分子印迹聚合物则只需外加一个磁场即可以实现与溶液分离,其操作简单且分离时间短。在磁性分子印迹技术所应用的磁性粒子主要为Fe3O4。Fe3O4为无机化合物,不能和有机体系相容,因此磁性微球先由聚乙二醇4000/6000等活性组分进行活化得到有机相容性磁性复合微球,磁性复合微球在聚合过程中包埋于MIPs中。也有通过溶胶2凝胶使硅包裹磁性离子。

　　PS-PBu-PS

　　Poly(styrene-b-Ethylene-butylene-b-styrene)

　　PS-PnBuA-PSPoly(styrene-b-n-butyl acrylate-b-styrene)

　　PS-PtBuA-PS

　　Poly(styrene-b-t-butyl acrylate-b-styrene)