uSCAN系列扫描系统是越昌科技近期推出的高性能一体式精密运动平台。整机采用了高刚性的花岗岩作为底座，配合高性能直线电机及伺服平台，主要用于高精度扫描、加工、检测等应用场景。该产品的标准行程参数选择支持快速出货，大大减少了客户自己组合搭配不熟悉导致的组合缺陷及调试不熟悉导致的性能短板。

　　在系统的核心架构方面，XY轴由U1系列高性能直线电机平台组成，具备迷宫式密封防护效果，能有效防止易损件和粉尘侵入；R轴采用高精度扁平化DD马达（DDR224）；Z轴则标配U3系列高精度伺服电机平台，客户也可根据实际需求选配NFZ240高性能直线电机平台。设备底座采用济南青或印度黑等高性能花岗岩石材，精度可选0级或00级，并可根据应用要求选配机架及隔振系统。

　　在技术参数方面，X轴与Y轴的标准行程覆盖100至400mm，光栅分辨率达到100nm，重复定位精度≤1μm (±0.5)，最大速度可达1000mm/s，最大负载为50kg。Z轴行程覆盖50至300mm，重复定位精度≤3μm (±1.5)，最大速度200mm/s，负载30kg。R轴旋转行程360°，分辨率1sec，重复定位精度≤±1sec。各轴的运动平面度均控制在≤±5μm以内。

　　此外，XY运动系统经过了深度优化，支持快速启停和连续整定应用。在承载10kg负载、2mm行程的运动工况下，其运动加整定时间小于30ms。该系统非常适合对精度要求极高的微纳加工、半导体检测及光学扫描等自动化制造场景，是提升设备整体性能的理想底层平台。