1、真空泵的工作压强是否满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内。

　　3、真空泵在其工作压强下，是否排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

　　4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

　　5、了解被抽气体成分。气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。

　　6、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如果要求不严格，可以选择有油泵。

　　7、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。

　　8、真空泵排出来的油蒸气是否对环境的影响。

　　9、真空泵的价格、运转及维修费用。在使用许可的情况之下,应尽量选用价廉物美的真空泵。