详细说明
英国Ossila紫外臭氧清洗机
概述
英国Ossila紫外臭氧清洗机可以去除样品表面污染，数分钟内产生超净表面。它利用高能紫外光源产生臭氧，臭氧将样品表面的污染物分解为挥发性化合物。挥发性化合物从样品表面蒸发，不留痕迹。这种清洁方法可以产生接近原子级的清洁表面，而不会对样品表面产生损坏。
英国Ossila紫外臭氧清洗机的托盘尺寸为100mmx100mm，可将样品定位于紫外光源下。您只需将样品放到托盘上，关上仓门，设置好时间，按开始键即可。
英国Ossila紫外臭氧清洗机性价比高，厂家提供2年免费质保。
技术参数
| UV灯类型 | 人造石英紫外格栅灯 |
| UV灯主要波长 | 185 nm 和 254 nm |
| UV灯规格 | 100 mm x 100 mm |
| UV灯电流 | 30 mA (恒定) |
| 254 nm 输出强度 | 100厘米距离的光强度为20 µW/cm2 |
| UV 灯使用寿命 | T80 (2000小时); 8-10年标准日常使用时间 |
| 电源 | 电源220-240 VAC 保险丝:1A |
| 选配的AC/AC 变压器 | 110 V / 230V |
| 最大运行时间 | 59 分钟59秒 |
| 安全特征 | 安全互锁装置, 高温报警, 热熔断路 |
| 托盘尺寸 | 100 mm x 100 mm |
| 最大样品尺寸 | 100 mm x 100 mm |
| 外形尺寸 | 宽 204 mm高 227 mm长 300 mm |
*请注意，紫外臭氧清洗机没有内置的臭氧过滤系统，必须置于正常工作中的通风橱内使用。
应用
| 紫外臭氧清洗机的应用案例包括:表面清洁薄膜沉积紫外光刻表面杀菌AFM/STM探针清洁UV化学反应光学部件的清洁改善样品表面亲水性去除表面单分子层表面氧化表面刻蚀/缩微成像 | 适用的样品类型包括:石英硅二氧化硅氮化硅金镍铝砷化镓氧化铝玻璃不锈钢 |
下图是紫外臭氧清洗机对基片表面的处理效果，提高了样品表面的亲水性。
OTS处理的硅基片(表面上有300 nm SiO2)上的水滴 紫外臭氧清洗处理10分钟后的效果(右图)
(左图，处理前)