CMP精抛布（7355-000FE）

　　物性说明:

　　品名(ARTICLENO):CMP精抛阻尼布

　　用途(FORUSES):CMP

　　物理性质各项参数(PHYSICALPROPERTIES)

　　(物理性质数据只是测定数值，不作为规格数值。)

　　(Theaboveisnotstandard,butmeasuredfigures.)

　　产品特点:

　　v材料的亲水性:

　　采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性）出众.

　　v基层纤维厚度的均一性:

　　抛光压力及抛光液的流动量均一

　　v起泡的泡囊长度均一性:

　　抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高

　　v起泡的泡囊形状均一性:

　　抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高

　　v起泡的泡囊的开口口径均一性:

　　抛光效率均一性高

　　v基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越，抛光效率高

　　v绒毛长度更长,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度

　　v兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片的精抛光用

　　CMP抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓（GaAs）、蓝宝石、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体（硅片）、京瓷（蓝宝石）、并木（蓝宝石）、俄罗斯MonoCrystal（蓝宝石）、等多家公司都在使用该抛光布。