CMI563配置包括:  

　　CMI563主机  

　　SRP-4探头（含SRP-4探针）  

　　NIST认证的校验用标准片1套  

　　仪器规格:  

　　厚度测量范围:化学铜:0.25μm–12.7μm（0.01mils–0.5mils）  

　　电镀铜:2.0μm–152μm（0.1mil–6mil）  

　　线性铜线宽范围:203μm–6350μm（8mil–250mil）  

　　显示单位:mil、μm，一键自动转换  

　　存储量:13500条读数  

　　准确度:±1%(±0.1μm)参考标准片  

　　精确度:化学铜:标准差0.2%；电镀铜:标准差0.5%  

　　分辨率:0.1μm>10μm，0.01μm

　　0.01mils>1mil，0.001mils

　　尺寸:长×宽×高=149×79.4×30.2mm  

　　(57/8”×31/8”×13/16”)  

　　重量:0.26kg(9oz)，含电池  

　　电池:9伏碱性电池，65小时连续使用  

　　接口:RS-232串行接口，波特率可调，用于下载至打印机或计算机  

　　显示:4数位LCD液晶显示，2数位存储位置，字符高12.7mm（1/2英寸）  

　　统计显示:测量个数，标准差，平均值，最大值，最小值