详细说明
以下尺寸仅供参考，我们提供非标定制设备满足您对于真空镀膜的所有需求
| 镀膜室尺寸 | Ф600XH700 | Ф700×H800mm | Ф1000×H1100mm |
| 用于行业 | 五金行业、刀具、冲压成型模具、钻花、硬质合金工具等 |
| 膜层种类 | TiN, TICN, TiAlN, CrN, 等 |
| 真空室结构 | 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统 |
| 真空获得系统 | 扩散泵 | TK-300 | TK-400 | KT-500C |
| 分子泵 | FF-250/1600 | F-400/3500 | F-400/3500 |
| 罗茨泵 | ZJP-150 | ZJP-150 | ZJP-150 |
| 机械泵 | 2X70 | 2X70 | 2X70 |
| 维持泵 | 2X15 | 2X15 | 2X30 |
| 真空测量系统 | 电离规+电阻规+复合真空计 |
| 电源类型 | 多弧离子电源、脉冲偏压电源 |
| 极限真空指标 | 空载洁净 1.0- 6.0×10-4Pa |
| 电弧源 | ≥4台 | ≥6台 | ≥12台 |
| 偏压电源 | ≥20KW | ≥20KW | ≥20KW |
| 工件转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） |
| 工件烘烤温度 | 常温-500℃可调（PID温控） |
| 工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统, 种类为: 氩气、氮气、氧气、乙炔等 |
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 |
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 |
| 报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
| 整机总功率 | ≤65KW | ≤80KW | ≤100KW |
| 输出频率 | 电压380V±5%，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置） |
| 备注 | 设备尺寸和设备配置可根据用户要求设计制造非标设备 |