详细说明
GaN基m族氮化物是宽禁带直接带隙半导体材料,因其优异的电学性能和 物理、化学稳定性,是制造发光二极管(LED, Light Emitting Diode )、短波长 激光器、高功率晶体管、紫外光探测器等的理想材料,而其中蓝宝石(A1203)是异质外延GaN薄膜最为通用的一种村底材料。
苏州恒迈瑞材料科技生产供应氮化镓复合衬底片,衬底结构为GaN on Sapphire,尺寸目前有2英寸,4英寸,6英寸。导电类型分为n型非掺杂、n型硅掺杂,及Mg镁掺杂,抛光要求可为单抛或双抛。
氮化镓外延厚度:4.5um±0.5um/ 20um±2um
晶向:C-plane(0001)±0.5°
位错密度:≤5x108cm-2
抛光要求:单抛/双抛