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　　振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。集成传感器:是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器:则是通过沉积在介质衬底（基板）上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器:是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。

　　辅助电源:为传感器提供能源。需外接电源的传感器为无源传感器，如电阻式、电感式、电容式传感器；不需外接电源的为有源传感器，如压电传感器、热电偶等。金属应变式传感器其核心元件是金属应变片，它可将试件上的应变变化转换成电阻变化。应用时将应变片用黏结剂牢固的粘贴在被测试试件表面，当试件受力变形时，应变片的敏感栅也随之变形，引起应变片电阻变化，通过测量电路将其转换成电压或电流信号输出。

　　电化学传感器的分类电化学传感器的分类方法很多，按照其输出信号的不同可以分为电位型传感器、电流型传感器和电导型传感器。按照电化学传感器所检测的物质不同，电化学传感器主要可以分为离子传感器、气体传感器和生物传感器。四、电化学传感器主要性能与影响因素影响灵敏度因素主要有:催化剂活性、进气量、电解液导电能力、环境温度等影响响应恢复速度的因素主要有:催化剂活性、电解液导电能力、气室结构、气体特性等