详细说明
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温度或压力传感器霍尔效应传感器也可用作压力和温度传感器,这些传感器与带有适当磁铁的压力偏转膜片结合在一起,波纹管的磁性组件来回致动霍尔效应元件。在压力测量的情况下,波纹管受到膨胀和收缩。波纹管的变化导致磁性组件移动靠近霍尔效应元件。因此,产生的输出电压与施加的压力成正比。在温度测量的情况下,波纹管组件用具有已知热膨胀特性的气体密封。当腔室被加热时,波纹管内的气体会膨胀,这会导致传感器产生与温度成比例的电压。
控制电流施加在控制端子上,而在差分输出端子观察输出。一个基本的霍尔效应传感器将磁场转换为电信号。磁系统将位置、速度、电流、温度等物理量转换为磁场,而磁场又可以由霍尔效应传感器感应。霍尔效应传感器由硅材料制成,主要分为两种类型,即基本传感器和集成传感器。有源元件的霍尔系数和电流密度是制造霍尔效应传感器以产生高输出电压时要考虑的两个重要参数。因此,高霍尔系数和低电阻是霍尔元件的两个重要要求。用于制造这些传感器元件的一些材料包括InSb、Ge、InAs和GaAs。
加速度传感器一般分为低G加速度传感器和高G加速度传感器,如下图所示。电容式加速度传感器传感器元件由Si制成的固定电、可动电和弹簧构成。未施加加速度的状态下,固定电和可动电间的距离相同。施加加速度,则可动电移位。由此与固定电的位置关系发生变化,电间容量发生变化。容量的变化通过ASIC转化为电压,算出加速度。何谓电流传感器?电流传感器是指检测电路中流动的电流值的传感器。电流的检测方法