单晶硅压力变送器-单晶硅压阻式压力传感器工作原理

　　型号:YD322-Si

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　　单晶硅压力/差压变送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度、压力，然后将其转变成4-20mAHART电流信号输出，也可与HART375或BST Modem相互通信，通过他们进行参数设定、过程控制。与传统压力变送器的区别在于它使用的是纳米单晶硅作为传感器材料。

　　YD系列单晶硅智能变送器是本公司引进国外先进技术，进口国外单晶硅传感器，自行研制开发的带HART通讯协议的智能压力变送器，是新一代高性能智能差压、压力变送器。它采用目前国际上先进的微机械单晶硅传感器技术，利用单晶硅材料极佳的稳定性与重复性特点，通过微机械加工工艺与激光焊接封装工艺，可靠性与稳定性极高，单向过载于静压影响极小。HART数字通信技术增添了智能化与数字通信功能，进一步满足了工业现场测量队仪表高可靠性、高稳定性与智能化的要求。

　　传感器模块采用全焊接技术，内部拥有一个整体化的过载膜片，一个压力传感器和一个温度传感器。温度传感器作为温度补偿的参考值。压力传感器的正压侧与传感器膜盒的高压腔相连，传感器的负压侧与传感器膜盒的低压腔相连，压力通过隔离膜片和填充液，传递给传感器内的硅芯片，使压力传感器的芯片的阻值发生变化，从而导致检测系统输出电压变化。该输出电压与压力变化成正比，再由适配单元和放大器转化成一标准化信号输出。

　　压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。

　　单晶硅压力变送器当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化，再由桥式电路获得相应的电压输出信号。

　　主要参数:

　　测量范围: 0-1kPa-10MPa

　　输出信号:4-20mA，4-20mA+HART

　　参考精度:±0.2%URL

　　稳定性:±0.2%URL/ 年

　　膜片:SS316L，哈氏合金 C

　　介质温度:-40~120℃

　　防护等级:IP67

　　过程连接:M20*1.5(M)，G1/2(M)，G1/4(M)，1/2-14NPT(M) 等

　　测量介质:液体、气体、蒸汽

　　认证: CE、隔爆