密析尔Pura高纯气露点变送器 / 在线露点仪

名称:密析尔Pura高纯气露点变送器 / 在线露点仪

供应商:无锡徽科特测控有限公司

价格:面议

最小起订量:1/件

地址:新吴区,协信中心,6栋,1002室

手机:18352506157

联系人:陈传宏 (请说在中科商务网上看到)

产品编号:147800044

更新时间:2019-10-25

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详细说明

在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。亮点测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)测量稳定,重复性好高度集成的采样装置模拟和数字输出安装简便VCR 过程接口设计紧凑小巧显示/报警单元可选

  技术指标

传感器
传感器类型密析尔陶瓷湿度传感器
量程-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;±2°C   -61 ~ -100°C;±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;1°C           -80 ~ -100°C;1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
压力低 10-9 torr; 大 24 MPa
气体流量1 ~ 5 Nl/min
电气
电源通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大电流 25 mA
输出4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能
传感器套筒不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mmPura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mmPura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450gPura Sensor 型: 180g
包装Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装所有选配件: 独立包装运输Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作