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　　霍尼韦尔流量传感器Zephyr? HAF系列——高精度，±50 SCCM 至 ±750 SCCM信号调节放大、补偿技术具有绝热加热器的硅片

　　流量/压力范围0 SCCM 至 ±50 SCCM

　　0 SCCM 至 ±100 SCCM

　　0 SCCM 至 ±200 SCCM

　　0 SCCM 至 ±400 SCCM

　　0 SCCM 至 ±750 SCCM

　　总误差带低至 ±0.25 %FSS

　　输出模拟 (Vdc)，数字（I2C）

　　功耗3.3 Vdc:典型值:40 mW（无负载）（模拟）典型值:23 mW（无负载）（数字）5.0 Vdc:典型值:55 mW（无负载）（模拟）

　　典型值:38 mW（无负载）（数字）

　　端口类型长接口紧固件安装

　　短接口紧固件安装

　　短接口卡扣式安装

　　支持的介质无腐蚀性干燥气体

　　补偿温度范围0°C 至 50°C

　　[32°F 至 122°F]

　　工作温度范围 -20°C 至 70°C

　　[-4°F 至 158°F]

　　霍尼韦尔流量传感器Zephyr? HAF系列——高精度，10 SLPM 至 300 SLPM信号调节放大、补偿技术具有绝热加热器的硅片

　　流量/压力范围0 SLPM 至 10 SLPM

　　0 SLPM 至 15 SLPM

　　0 SLPM 至 20 SLPM

　　0 SLPM 至 50 SLPM

　　0 SLPM 至 100 SLPM

　　0 SLPM 至 200 SLPM

　　0 SLPM 至 300 SLPM

　　总误差带10 SLPM 至 200 SLPM:4.0% 读数

　　300 SLPM:7.0% 读数

　　输出数字（I2C）

　　功耗3 Vdc:最大 60 mW

　　10 Vdc:最大 200 mW

　　端口类型 歧管安装

　　22 mm OD 锥形螺头

　　G 3/8 母螺纹接头

　　支持的介质无腐蚀性干燥气体

　　补偿温度范围0°C 至 50°C

　　[32°F 至 122°F]

　　工作温度范围 -20°C 至 70°C

　　[-4°F 至 158°F]