优异的抗腐蚀性气体及其所夹带液体的处理能力，真空度可达10-3托。

　　▶VPS的C系列干式真空泵包含所有P系列的传统优势

　　（极限真空度高、防腐蚀及冷气效果等）

　　极限真空度高

　　干式螺杆真空泵能在大气压至极限压力的全范围内持续运行。单泵运行极限真空度可以达到1Pa，并且效率极高。

　　防腐蚀设计

　　- 经过特殊涂层（PTFE、PFA、Ni、NIFA等）处理可以用于输送有毒、有腐蚀性和可冷凝的气体。

　　- 通过气镇降低蒸汽的压力来防止腐蚀性气体冷凝。

　　-冷却效果好

　　- 无需冷却气体

　　- 独特的夹套水冷结构

　　- 出口温度降至符合或接近T4要求

　　能耗

　　- 变螺距结构设计

　　- 能耗降低30%以上

　　特性

　　VPS-C系列干式螺杆真空泵

　　密封结构可靠耐用

　　< 采用机械密封和唇形密封

　　< 干式真空泵专用机械密封

　　< 机械密封前设有空气和氮气气障保护

　　采用变螺距螺杆

　　< 合理的泵温升设计防止涂层损坏

　　< 节能设计降低能耗30%以上

　　真空度的改进

　　< 最大真空度达到0.0075Torr（1Pa）

　　< 真空度高，提高抽气效率

　　< 真空度从大气压到1torr保持稳定的抽速

　　螺旋式夹套冷却结构

　　< 螺旋式夹套具有优良的冷却效果

　　< 运行温度低

　　< 通过少量的冷却液量就可以控制泵内温升

　　设备材质

　　< 腔体Casing :球墨铸铁（特氟龙涂层，标配PTFE涂层）

　　< 螺杆Screw : 球墨铸铁（特氟龙涂层，标配PTFE涂层）

　　< 轴封

　　-进气口（后端）Suction(Rear) : 双唇密封+单唇密封

　　-出气口（前端） Discharge(Front) : 机械密封+唇形密封

　　- 驱动端: 油封

　　< 轴承

　　- 进气口（后端）: 滚柱轴承

　　- 出气口（前端）: 双滚珠轴承

　　- 驱动端: 单滚珠轴承

　　< O型圈O-ring : 氟橡胶Viton

　　另外，还有以下选项可选

　　• 特殊涂层-加厚特氟龙（PFA），镍氟龙（NIFA），镀镍等

　　• 特殊O型圈，如全氟醚O型圈 Kalrez,

　　• 特殊机型密封，如哈氏合金，耐蚀高镍

　　通畅的排气口结构

　　< 气体通路短，可使气体快速排出

　　< 可以顺畅地排出泵内因冷凝产生的积液

　　< 卓越的流体处理能力

　　IEC法兰（NEMA可选）

　　< 简洁的C法兰设计降低了噪音水平，消除了联轴器校准问题

　　< 增强的螺纹防止变形和振动

　　防润滑脂泄露

　　< 三联唇型密封

　　< 优化润滑空间，防止润滑脂泄露