详细说明
干式螺杆泵的应用范围:
在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
工业排气;集中式真空处理系统
挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。
涉及无忧污水真空处理的所有应用
食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等