最佳的极限压力完全无油无水

　　干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，排气温度低，工艺稳定，适用于各种领域的真空工艺，也维持了最佳的真空效率和耐用性。

　　介质不经过油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥、溶剂回收、化工、制药、塑料等各种真空工艺。

　　VPS干式螺杆真空泵特征

　　1) 工作腔内无水无油，通过转子转动产生清洁真空。

　　2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。

　　3) 通过特殊涂层处理，可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。

　　4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。

　　5) 密封方式为机械或双唇密封。

　　6) 简便的设计易于设备维护。

　　7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触，使用寿命长。

　　8) 气体通过泵体可迅速排出。

　　9) 螺杆转子具有较高的容积效率。

　　10) 较低的转速可降低振动及噪音。

　　干式螺杆泵的应用范围:

　　在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀（PECVD）和反映离子刻蚀（RIE）工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆（PLASMA）的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。

　　在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。

　　制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。

　　化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺

　　工业排气；集中式真空处理系统

　　挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

　　混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物。

　　涉及无忧污水真空处理的所有应用

　　食品行业用于香料，香精浓度，食品包装等