详细说明
硅压力传感器芯片
应用
l汽车轮胎压力监测
l发动机控制
l大气压力测量
l空压表
l手执压力计
特色
l固态、MEMS技术、高可靠性
l低成本、小尺寸
l标准压力范围:0－100KPa； 0－700KPa
l非线性< 0.20%FSO
l硅／硅键合芯片，稳定性好
描述
可提供小型压阻压力传感器芯片，其尺寸为1x1mm2。当用3VDC供电时，传感器产生毫伏输出电压，正比于输入压力。压力传感器芯片为绝压模式。
硅压力传感器芯片技术指标
除非特别指出，所有参数在5V供电及室温下测得。
| | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 | 备注 |
| 激励电压 | | | 5.0 | | V | |
| 激励电流 | | | 1 | | mA | |
| 满量程输出（FS） | 700kpa | 90 | 100 | 110 | mV | |
| 零位输出 | | 0 | | 25 | mV | 注1 |
| 满度温度系数 | | -24 | -19 | -15.5 | %FS/100℃ | 恒压供电 |
| 零位温度系数 | | -7 | | +7 | %FS/100℃ | |
| 电阻温度系数 | | +19 | +24 | +28 | % /100℃ | |
| 线性 | | -0.45 | -0.15 | +0.45 | %FS | |
| 桥阻抗 | | | 5 | | KΩ | 注2 |
| 过载压力 | | 2X | | | 额定FS | |
| 破坏压力 | | 4X | | | 额定FS | |
| 工作温度 | | -40 | | +125 | ℃ | |
| 存储温度 | | -55 | | +150 | ℃ | |
注1:一个大气压下，5V供电，电桥输出。
注2:同一硅片上，电阻偏差<±0.4KΩ。