详细说明
Pinnacle+Plus拥有坚硬的花岗岩支撑结构和高性能的Z轴移动组件,使测量微电子零件和组件时产生尽可能低的不确定性.
最先进的线性马达控制技术造就了运行速度最快,最为可靠的免维护平台,满足了从无尘室到工厂车间的生产环境中,大容量,高性能的操作。
特征:
X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50
X,Y,Z光栅尺分辨率:XY - 0.05μm,零膨胀材料,Z - 0.01μm,零膨胀材料
平台驱动系统:无摩擦高速线性马达驱动X&Y,直流伺服马达驱动Z
最大速度:X,Y - 100 mm/sec / Z - 25 mm/sec
最大承载量:25 kg
光学系统 :单倍放大, 工厂安装背光的镜头和视场交换式前透镜标配为VIEW 1X 背管,5X镜头
计量软件
可选项: Elements
可选项Measure-X
可选项软件模块:
区域多点自动ju jiao
连续捕获图像(CIC)
先进的图像滤光和图像拼接,自定义
UI操作软件
MeasureFit Plus
SmartProfile
3D GD&T 评估软件
VMS 离线编程软件
数字输入/输出Digital I/O