全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司最先进的设计和技术。

　　, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。

　　扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm

　　透射照明

　　完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准

　　符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合

　　全自动显微镜，所有设置计算机控制

　　最佳分辨率像素摄像头

　　VIEW Metrology Software (VMS™)可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。

　　MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.

　　标准 可选

　　X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 ‘/最大载重: 12 kg

　　XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um

　　Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

　　分辨率: 0.01 微米

　　视场测量精度和重复性:0.01 μm (100x)

　　直流伺服马达驱动