详细说明
BenchMark 250 主要技术参数
XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)
测量范围:300X150x150毫米/720X775X873毫米
| | 英制单位 | 公制单位 |
| 负载 | 25kg |
| 台面分辨率 | 0.5um |
| 光学 | 双重放大 (物镜) |
| | 低倍 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | |
| | 高倍 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | |
| 标配镜头 | 1X |
| 可选镜头 | 0.8X,2.5X,5X |
| 照明 | LED 背光,LED 同轴面光 |
| 可选特征 | 多色可编程环形光 (PRL) |
| | Ronchi 栅格自动ju jiao |
| | TTL 激光 | | |
| | 旋转分度工作台 |