详细说明
BenchMark 450 主要技术参数
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）
| | 英制单位 | 公制单位 |
| 测量范围 | 18" X18"X6" | 450"X450"X150mm |
| 尺寸 | 48" X45"X67" | 1210"X1140"X1700"mm |
| 负载能力 | 65千克 |
| 台面分辨率 | 0.5微米 |
| 光学 | 双重放大 (物镜 X) |
| | 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | |
| | 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | |
| 标配物镜 | 1X |
| 可选物镜 | 0.8X,2.5X,5X |
| 照明 | LED 背光,LED 同轴面光 |
| 可选特征 | 多色可编程环形灯 (PRL) |
| | Ronchi 栅格自动ju jiao |
| | TTL 激光 | | |
| | 旋转分度工作台 |