空气过滤器（Air Filter）指空气过滤的装置，主要有粗效过滤器、中效过滤器、高中效过滤器、亚高效和高效过滤器五种型号，各种型号有不同的标准和使用效能。空气过滤器与压阀和油雾器称为气动三大件，一般用于洁净车间、厂房、手术室、实验室等，或者用于电子机械通信设备等的防尘。

　　在气动技术中，空气过滤器、减压阀和油雾器称为气动三大件。为得到多种功能往往将这三种气源处理元件按顺序组装在一起，称为气动三联件。用于气源净化过滤、减压和提供润滑。

　　三大件的安装顺序按进气方向依次为空气过滤器、减压阀、油雾器。三大件是多数气动系统中不可缺少的气源装置，安装在用气设备近处，是压缩空气质量的最后保证，其设计和安装，除确保三大件自身质量外，还要考虑节省空间、操作安装方便、可任意组合等因素。

　　洁净室中的噪声控制

　　洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:

　　1．烦恼的效应

　　由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。

　　2．对工作效率的影响

　　这主要看三方面的反应水平，这三个方面是:集中精神，动作准确性，工作速度；

　　3．对综合通讯的干扰

　　这主要分为:清楚或满意，稍困难，困难，不可能

　　对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适，可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。

　　根据中国建筑科学研究院建筑物理研究所1981年为编制《洁净厂房设计规范》而进行的测定资料，在65dB(A)以下时，只有30%的人感到高烦恼。在65—70dB(A)时，其影响对工作效率的三方面反应表现出较低水平；在60dB(A)以下说话清楚满意．60～75dB(A)时有一定困难，犬于75dB很困难。因此认为洁净室噪声水平以65d)为宜，此时可使高烦恼率小于30%；保证一般通话；对工作效率影响很小。

　　光学微电子净化工程结构材料

　　1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

　　2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

　　3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

　　4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

　　光学微电子净化工程解决方案:[2]

　　净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。