高纯六氟化硫高温分解的产物都会导致气体纯度不纯的问题。我们在选购的时候首先要避免，找正规厂家购买，并附带产品检测报告。菲利尔每瓶气体都有出厂检测报告，从源头上杜绝sf6气体不纯的问题。此外设备中的六氟化硫气体也要时常检测更换以免损害设备。

　　1、电器设备内的高纯六氟化硫在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。例如:气体在电弧中的分解和与氧的反应:会生成氟化亚硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物质。

　　2、电器设备内的高纯六氟化硫分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。 例如:SF6气体分解物与水的继发性反应生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等。

　　3、电器设备内的高纯六氟化硫及分解物与电极(Cu-W 合金)及金属材料(AL、Cu)反应而生成某些有毒产物。 例如:SF6气体及分解物与电极或其它材料反应: ALF3(固态粉末)ALF3(固态粉末)CuF2(固态粉末) 等固态粉末。

　　4、电器设备内的黎明六氟化硫及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。