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　　伺服在自动化半导体设备中的应用其广泛,例如在涂胶机,光刻机等设备上均有。伺服驱动系统（ServoSystem）简称伺服系统，是一种以机械位置或角度作为控制对象的自动控制系统，例如数控机床等。使用在伺服系统中的驱动电机要求具有响应速度快、定位准确、转动惯量（使用在机电系统中的伺服电机的转动惯量较大，为了能够和丝杠等机械部件直接相连。伺服电机有一种专门的小惯量电机，为了得到高的响应速度。但这类电机的过载能力低，当使用在进给伺服系统中时，加减速装置。转动惯量反映了系统的加速度特性，在选择伺服电机时，系统的转动惯量不能大于电机转动惯量的3倍。）较大等特点，这类的电机称为伺服电机。当然，其基本工作原理和普通的交直流电机没有什么不同。该类电机的驱动单元称为伺服驱动单元，有时简称为伺服，一般其内部包括电流、速度和/或位置闭环。

　　无刷电机体积小，重量轻，出力大，响应快，速度高，惯量小，转动平滑，力矩稳定。控制复杂，容易实现智能化，其电子换相方式灵活，可以方波换相或正弦波换相。电机免维护，效率很高，运行温度低，电磁辐射很小，长寿命，可用于各种环境。

　　四边滑阀有四个可控的节流口，控制性能好，需要三个轴向配合尺寸，结构工艺复杂。 理想滑阀的假设条件有哪些？液压能源是理想的恒压源，忽略管道和阀腔体内的压力损失，假定液体是不可压缩，假定阀各节流口流量系数相等。大兰液压比例伺服阀 什么叫动力元件，有哪几种动力元件？液压动力元件是由液压放大元件（液压控制单元）和液压执行元件组成。液压放大元件可以使液压控制阀，也可以是伺服变量泵。液压执行元件是液压缸或液压马达。由他们组成四种基本型式的液压动力元件:阀控液压缸，阀控液压马达，泵控液压缸，泵控液压马达。

　　恒值控制系统的特点为输入信号为某个常数，由于扰动的出现，将使被控量产生偏差，恒值系统能根据偏差性质产生控制作用，使被控量以一定精度恢复回期望值。如液位控制、温度控制、压力控制等。恒值控制系统在工业过程和日常生活中更为多见。伺服系统输入信号是无法预知的任意变化的函数，控制系统使被控量以尽可能高的精度随给定值变化，克服扰动的影响。如鱼雷、雷达对目标的跟踪、导弹对飞行物的跟踪等。恒值控制系统就是通过调节控制所需要达到的目标是已知固定的，伺服系统是指控制系统需要达到的目标值是不断变化的。