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名称：晶圆芯片外观检测装置
供应商：深圳市锐光科技有限公司
价格：面议
最小起订量：0/
地址：深圳市龙华区大浪街道浪静路15号浩盛隆时尚创意园A栋1楼
手机：18127884715
联系人：伍先生 （请说在中科商务网上看到）
产品编号：102158499
更新时间：2021-01-31
发布者IP：61.141.77.42
本装置搭载光学相机2台，通过晶圆的分割检查提高吞吐量并改变光学规格参数，可查找不同的缺陷。
特点
1)低成本,高性能
2)使用动态自动焦距,可跟踪深钻的级差
3)通过对大尺寸的芯片进行“分割摄像”,可检测出细微的缺陷
4)跟踪“适应型学习软件”批量的偏差,极大地提高了再现性
5)通过“CPU+GPU核心流程分散型并列处理”,飞跃性地提高了吞吐量
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