中石伟业石墨化炉配套高纯氩气净化机

　　中石伟业石墨化炉、石墨烯炉专用氩气净化器、纯化装置，同时该净化机也可用作高纯材料(如单晶硅、多晶硅、高纯金属),等生产的保护气氛。

　　净化原理

　　该净化机利用催化剂促使氩气中的微量氧气与碳反应生成二氧化碳，从而除去氩气中的杂质氧气，再利用分子筛吸附脱除氩气中的H2O、CO2等杂质，再利用合金吸附剂吸附脱除氩气中剩余的的N2等惰性杂质，即可得到高纯氩气。

　　氩气净化机的技术参数

　　对原料氩气要求

　　一般瓶装纯氩，液氩、控制较好的管道氩气。

　　杂质要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。

　　输出纯气

　　纯度:99.9999%

　　杂质含量:

　　O2≤0.1PPm，

　　H2O≤1PPm(即露点≤-76℃)，

　　N2≤0.5PPm

　　CO+CO2≤0.1PPm，

　　S、P的氧化物≤0.1PPm。

　　尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升。

　　工作压力:0.4-1.5MPa。

　　处理气量:4~2000NM3/h(其余流量需要定制)。