产品说明:

　　一、技术参数

　　行程范围:X轴------1200 mm Y轴------2000 mm Z轴------1000 mm

　　结构型式:活动桥式

　　传动方式:柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承长度

　　测量系统:RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

　　机台:高精度花岗岩平台

　　使用环境:温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h

　　空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa

　　空气流量:100 L/min – 120 L/min

　　整机尺寸:3.32m X 1.98 m X 3.5m (安装尺寸:3 m X 2.15 m X3.55m)

　　机台厚度:420mm 整机重量:8500kg 机台承重:2000kg

　　控制及探针测量系统: 1．驱动系统:直流伺服电机 (日本) 2．控制系统:Renishaw （英国） UCCLITE 3．操作方式:计算机自动控制 +操纵盒 4．控制软件:SEREIN DMIS V2.0（美国） 5．探测系统:Renishaw（英国）MH20i （标准配置） 6．测量不确定度（E）:（4.5+L/300）μm

　　二、机械特点

　　1．整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显着提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。

　　2．三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。

　　3．三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。

　　4．长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。

　　5．控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。