平凉环保型真空机组定制厂家

　　半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空、高真空、中真空和低真空，分类如下表所示:真空一般是用特制的抽气机获得，它的气体稀薄程度用真空计测定，现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的高真空。真空技术在芯片制造，太阳能电池片制造，光学膜制造、电真空仪器，电子管和其他电子仪器方面均有广泛应用。普通真空泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空；

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　　真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有专门高的抽速，但不能抽氦，而三型溅射离子泵，（或二型非对称阴溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

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　　真空系统还要结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等。要满足这些要求，要从真空泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。同时，这些基本要求，经常是相互联系的。

　　水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵，关键部件为喷嘴，所以此泵结构简单，维修频率低。罗茨泵的结构在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的限真空。为了提高泵的限真空度，可将罗茨泵串联使用。